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晶圓缺陷光學檢測設備使用心得
晶圓缺陷光學檢測設備使用心得

晶圓缺陷光學檢測設備是半導體制造中的關鍵質量控制工具,通過高分辨率光學成像和智能算法識別晶圓表面的顆粒、劃痕、污染等缺陷。經過長期使用,總結以下核心心得:一、設備操作要點開機準備階段至關重要。需提前30分鐘預熱設備,使光學系統溫度穩定,避免熱漂移影響成像精度。每次使用前執行自動校...

2026 1-16
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